14.6億與7.6億

據cnBeta、環球網、快科技等多家媒體證實，2018年（nián）長江存儲從荷蘭阿斯麥（ASML）公司訂購的一台光刻機已抵達武漢。這台光刻機價值高達7200萬美元，約（yuē）合人民幣4.6億元。

另據日經亞洲評論（Nikkei Asian Review）報道，2018年中芯國際（jì）也向阿斯麥下（xià）單了一台價值高達1.2億美元，即7.6億人民幣的EUV（極紫外線）光刻機。值得一提的是，訂單價格與中芯國際17年年淨利潤1.264億美元大致相當。這台機器預計將於2019年初交貨。據悉，這是中芯國際向荷蘭AMSL發（fā）出的第一（yī）張訂單。

荷蘭當地媒體《埃因霍溫經濟報》報道了中芯國際的這次購買

雖（suī）然是買別人的東西，但是這兩條信（xìn）息還是足夠令國人興奮，畢竟這種機（jī）器咱們造不出來，人家不賣給咱（zán）們，自己的芯片製造就搞不定。

2什麽是光（guāng）刻機？

對於普通人來說，光刻機或許是一個陌生的名詞，但它卻是製造（zào）大規模（mó）集（jí）成電路的核心裝備（bèi），每顆芯片誕生（shēng）之初，都要經過光（guāng）刻技術的鍛（duàn）造。

圖源：知乎@中國科學院光電技術研究所

簡單（dān）地說，光刻（kè）機就是把工（gōng）程師的設計‘印入’基底材料，其核心技術長期（qī）被荷蘭、日本、德國等把持。

光刻機原理 圖源：知乎@看風景的蝸牛君

光刻機是芯片製造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用於（yú）生產芯片的光刻機；有用於（yú）封裝的光（guāng）刻機；還有用於LED製造領域的投影光刻機。用於生產芯片的光刻機（jī）是中國（guó）在半導體設備製造上最大的短板（bǎn），國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

3ASML：現代芯片不可或（huò）缺的支持（chí）者

目前（qián），光（guāng）刻機領（lǐng）域的龍頭老大是荷蘭ASML。阿斯麥（mài）公司ASML Holding NV創（chuàng）立於1984年，是從飛利浦獨（dú）立出來的一個（gè）半導體設備製造（zào）商。前稱ASM Lithography Holding N.V.，於2001年改為現用名，總部位於荷（hé）蘭費爾德霍芬，全職雇員12,168人，是一家半導體設備設計、製造及銷售公司。

阿斯麥公（gōng）司（sī）已經（jīng）占據了高達80%的市場份額，壟斷了高端光刻機市場——最先進的EUV光刻機售價（jià）曾高（gāo）達1億美元（yuán）一台，且全球僅僅ASML能（néng）夠生產。Intel、台積電、三星都是它的股東，重金供養ASML，並且有（yǒu）技術人員（yuán）駐廠（chǎng），Intel、三星的14nm光刻機都（dōu）是買自ASML，格羅方德、聯電等晶圓廠（chǎng）的光刻機主要也是來自ASML。

上（shàng）麵這個就是ASML光刻機的（de）截麵圖，這（zhè）台（tái）機器價值不（bú）菲。事實上中國的芯片製造商們要想量產7nm及其以下的工藝的芯片，就必須引入EUV光刻機。

阿斯麥公司為半導體生（shēng）產商提（tí）供光刻機（jī）及相關服務，TWINSCAN係列是目前（qián）世界上精度最高，生產效（xiào）率最高，應用最為廣泛的（de）高端光刻機型。

目前全球絕大多數半導體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機（jī）型，例如英特爾，三（sān）星，海力士，台積電，聯電，格芯及其它半導體廠。隨著摩爾定律的發展，芯片走向了7nm以（yǐ）下，這就需要更高級（jí）的EUV光刻（kè）係統，全球隻有ASML的（de）NXE:3400B能夠滿足需（xū）求（qiú）。

未來，隻有他的EUV光刻機能夠幫助芯片接續微縮，因（yīn）此這些設備縱使賣到上億（yì）歐元，都（dōu）能被客戶所接（jiē）受。

接下來我們走進ASML光刻機（jī）工廠，看看世界（jiè）上最貴精密儀器出（chū）廠地。

4結語

一方麵，AMSL對我們（men）的企業商業態（tài）度轉變，由禁售到同意出售最先進的7nm光刻機，可以預（yù）計芯片水平將繼（jì）續提升。

另（lìng）一方麵，我國（guó）在光刻機領域的（de）進步也是（shì）顯著（zhe）的：

2018年5月，上海微電子（zǐ）宣布成功研發90納米的高（gāo）精度光刻機，半導體業內人士分析稱，攻克90納米的技術之後，拿下65和45納米就是順理成章的事（shì）了。

2018年11月（yuè）31日，官方發布消息，中國（guó）科學院光電技術研究所研製的22納米超分辨光刻裝備通過驗收，未來將可（kě）以結合雙重曝（pù）光（guāng）技術，用於製造10納米級別的芯片。

僅從（cóng）精度的數據上看，我們還是落（luò）後於荷蘭ASML不（bú）少（shǎo）。不過，看著過往的（de）發展速度，可以相（xiàng）信，未來（lái）不管是光（guāng）刻機還（hái）是芯片（piàn）技（jì）術都會趕上（shàng）來，一步一步來。