14.6億與7.6億

據cnBeta、環球網、快科技等多家媒體證實，2018年長江（jiāng）存（cún）儲從荷蘭阿（ā）斯麥（ASML）公司訂購的一台光刻機已（yǐ）抵達武漢。這台光刻機（jī）價值（zhí）高達7200萬美元（yuán），約合（hé）人民（mín）幣4.6億元。

另據日經亞洲（zhōu）評論（Nikkei Asian Review）報道，2018年中芯國際也（yě）向阿斯麥下單了一台價值（zhí）高達1.2億美元，即7.6億人民幣的（de）EUV（極紫外線）光刻（kè）機。值得一提（tí）的是，訂單價格與中芯國際17年年淨利潤1.264億美元（yuán）大致相當。這台機（jī）器預計將於2019年初交（jiāo）貨。據悉，這是中芯國際向荷蘭AMSL發出的第一張訂單。

荷蘭當地媒體《埃因霍溫經濟報》報（bào）道了中芯國際的這次購買

雖然是（shì）買別人的東西，但是這兩條信（xìn）息還是足夠令國人興奮，畢竟這種機器咱（zán）們（men）造不出來，人家不賣給咱們，自己的芯片製（zhì）造就搞不定。

2什麽是光刻機？

對於普通（tōng）人來說，光刻機或許是一個陌（mò）生的名詞，但它卻是製造大規模集成電路的核心裝備，每顆（kē）芯片誕生之初，都要經過光刻（kè）技（jì）術的鍛造。

圖源（yuán）：知乎@中國（guó）科學院光電技術研究所

簡單地說，光刻機就是把工程師的設計‘印入’基底材料，其核（hé）心技術（shù）長期被荷蘭、日本、德國等把持。

光刻機原理 圖源：知乎@看風景的蝸牛君（jun1）

光刻機是芯片（piàn）製造的核心設（shè）備之一，按照用途可以分（fèn）為好幾種：有用（yòng）於生產芯片的光刻機；有用於封裝的（de）光刻機；還有用於LED製造（zào）領域的投影光刻機。用於生（shēng）產芯（xīn）片的光刻機是中國在半導體設（shè）備製造上最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

3ASML：現代芯片不可或缺的支持者

目前，光刻機領域的龍（lóng）頭老大是荷蘭ASML。阿斯麥公司ASML Holding NV創立於1984年，是從飛利浦獨立出來的一個半導體設備製造商。前稱ASM Lithography Holding N.V.，於2001年改為（wéi）現用名，總部位於荷蘭費爾德霍芬，全職雇員12,168人，是一家半導體（tǐ）設備設計、製造（zào）及銷售公司。

阿斯麥公司已經占據（jù）了高達80%的市場份額，壟斷了高端光刻機市場——最先（xiān）進的EUV光刻機售價曾高達1億美元一台，且全球僅（jǐn）僅ASML能夠生產。Intel、台積電、三星都是它的（de）股東，重金供養ASML，並且有技術人員駐廠，Intel、三星的14nm光刻機都是買自ASML，格羅方（fāng）德、聯電等（děng）晶（jīng）圓廠的光刻機主要也是來自ASML。

上麵這個就是ASML光刻機的（de）截麵圖，這台（tái）機器價值不菲。事實上中國的芯片製造（zào）商們要想（xiǎng）量產7nm及其以下的工藝的芯片，就必須引入EUV光刻機。

阿斯麥公司為半導體生產商提供光刻機及相關服（fú）務，TWINSCAN係列是目前世界上精度最高，生產效率（lǜ）最高，應用最（zuì）為廣（guǎng）泛的高端光刻機型。

目前全球絕大多（duō）數半導（dǎo）體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，例如英特爾，三星，海力士，台積電（diàn），聯電，格芯及其（qí）它（tā）半導體（tǐ）廠。隨著摩爾（ěr）定（dìng）律的發展，芯片（piàn）走向了7nm以下，這就需要更高級的EUV光刻係統，全球隻有ASML的NXE:3400B能夠滿足需求。

未來，隻有（yǒu）他（tā）的EUV光刻機能夠幫助芯片接續微縮，因此這些設備縱使賣到上億歐元，都能被客戶所接受。

接下來（lái）我們走（zǒu）進ASML光刻機工廠，看看世界上最貴精密儀器出廠地。

4結（jié）語

一方麵，AMSL對我們的（de）企業商業（yè）態度轉變，由禁售到同意出售最先進的7nm光刻機，可以預計芯片水平將繼續（xù）提（tí）升。

另一方麵，我（wǒ）國（guó）在光刻機領域（yù）的進步也是顯著的：

2018年（nián）5月，上海（hǎi）微電子宣布成功研發90納米的（de）高精度光刻機，半導體業內（nèi）人士分析稱，攻克90納米的技術之後，拿下65和45納米就是順理成章的事了。

2018年11月31日，官方發布消息，中（zhōng）國科學（xué）院光電技術研究所研製的22納（nà）米超分辨光刻裝備通過驗（yàn）收，未（wèi）來將可以（yǐ）結合雙重曝光技（jì）術，用於製造10納米級別的芯（xīn）片。

僅從精（jīng）度的數據上（shàng）看，我們（men）還（hái）是落後於荷蘭ASML不（bú）少。不過，看著過往的發展（zhǎn）速度，可以相信，未來不管（guǎn）是（shì）光刻機還是芯片技術（shù）都會趕上（shàng）來（lái），一（yī）步（bù）一步來。